CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品,*高流量可達(dá)200SLM氮?dú)?,并可?shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機(jī)器人金屬表面拋光技術(shù),可用于測量各種氣體的流量,包括惰性氣體、強(qiáng)腐蝕性氣體、易燃易爆等危險性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點(diǎn),并支持DeviceNet,RS485通訊協(xié)議。
查看詳細(xì)介紹CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品,其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計,通過高溫線纜連接,可以實(shí)現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測量需求。
查看詳細(xì)介紹CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計的產(chǎn)品,該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法,全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝,產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn),支持Ⅵ型,C型GS氣路系統(tǒng)。
查看詳細(xì)介紹CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用客戶定制化設(shè)計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
查看詳細(xì)介紹CS100質(zhì)量流量控制器(流量計)是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用客戶定制化設(shè)計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
查看詳細(xì)介紹CS100質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā),在擁有恒功率傳感器技術(shù),數(shù)字傳感器平衡技術(shù),VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上,采用客戶定制化設(shè)計,客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品,同時其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC),能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題,使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
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