1. 分流器
 

　　分流器主要有環(huán)形通道，管形通道，槽形通道以及網(wǎng)狀通道分流器。
 

　　分流器的作用是不管流量計的流量是多大，只給傳感器替供一定范圍量的氣體。如給傳感器提供的氣體量太小，則傳感器的信號輸出會太弱，雖然可將其放大，但噪音也會同時被放大，使得流量計不能工作。如給傳感器的氣量太大，則傳感器會在非線性區(qū)工作，還有可能會使傳感器的輸出超出其極限，其工作將處于不穩(wěn)定狀態(tài)。因此，對分流器孔徑的計算和數(shù)量的確定是至關重要的。
 

圖1 不同形狀分流器
 

　　2. 分流器技術在質量流量控制器中的應用
 

　　氣體Q從入氣口進入質量流量控制器的分流器通道內(nèi),在分流器的作用下氣流被分成了兩路,一路氣體直接通過分流器Q2;另一路則通過流量傳感器的毛細管Q1,然后兩路匯合后,從出口流出。質量流量控制器的流量傳感器對經(jīng)過毛細管的氣體流量進行測量，所獲得的流量信號送入放大器進行放大。
 

圖2 分流器工作原理圖
 

圖3 管式分流器示意圖
 

　　當氣體Q從零開始逐漸增大，傳感器的輸出信號也隨之從零開始逐漸增大，這樣就有一個氣體的流量值對應著一個輸出信號值，從而可以作出輸出信號值與流量的關系圖，如圖4所示。
 

圖4
 

　　分流器的設計不僅要保證其為傳感器提供適當?shù)牧髁?，還要求其提供的氣量為線性，即對于某*流量范圍的分流器，分流比應不隨流量變化。
 

　　3. 使用分流器的優(yōu)勢
 

　　在實際應用中，流量傳感器不變，通過改變分流器來實現(xiàn)各種流量規(guī)格的氣體質量流量控制器。流量規(guī)格從5 ml/min到30L/min，每個流量規(guī)格都有一個分流器與之相對應。由于流量傳感器的毛細管內(nèi)徑和長度都是已知的，只要確定分流管的長度L和內(nèi)徑d，就可以計算出所需分流管的根數(shù)。采用如此*確計算的方法，得到分流器的計算結果，為提高產(chǎn)品的精度提供理論依據(jù)和保障。
 

　　同時在管道中采用分流器的方式，可以確保質量流量控制器中氣體為層流狀態(tài)，為傳感器的毛細管內(nèi)氣體的測量提供穩(wěn)定的氣體環(huán)境條件，從而提高產(chǎn)品的測量和控制精度。