氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理的流量儀表。即是利用流體流過發(fā)物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定比例關(guān)系。具體來說，該流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)的RTD,一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，流體經(jīng)過時，兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關(guān)系，該儀表就可以把這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。

    利用熱擴(kuò)散原理制造的流量計(jì)有兩種設(shè)計(jì)方法：一是基于恒溫差原理；二是基于恒功率原理，基于共同的數(shù)據(jù)模型：P/?T=A+B(Q)N。其中：P---耗散功率，T---兩個傳感器之間的溫差，Q---質(zhì)量流量，N---指數(shù)系數(shù)，A,B是與氣體的熱性能有關(guān)的系數(shù)。

    恒溫差原理：T保持不變，耗散功率P與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞增的關(guān)系。

    恒功率原理：耗散功率不變，溫度差?T與流體的流量Q成指數(shù)函數(shù)遞減的關(guān)系。

    氣體質(zhì)量流量計(jì)廣泛用于鋼鐵廠、焦化廠、石油、化工、熱力、醫(yī)療、熱電廠、環(huán)保等行業(yè)。氣體質(zhì)量流量計(jì)是真正的直接式質(zhì)量流量計(jì)，用戶不必對壓力溫度進(jìn)行補(bǔ)償。儀表無可動部件，壓力損失小，量程比寬，度高、可靠性高，安裝簡單，操作方便。

    影響流量計(jì)的因素有很多，簡單的說說常見的影響因素：

    （1）壓力

    在加氣機(jī)中使用的CMF測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。高壓改變了振動管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減?。粴怏w流經(jīng)振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。

    （2）溫度

    用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

    （3）流速

    壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。